高性能硅基光栅耦合器的研究
电子工程学院
Research On High Performance Silicon-Based Grating Coupler
光栅耦合器,作为一种十分重要的光器件,适用于所有硅基器件与光纤的耦合,同时具有体积小、表面平整、对机械振动和温度变化不敏感等特点,在光信息处理,光学计算等方面等到了广泛的应用。基于现有条件,我们希望针对不同的测试需求,从提升标准工艺下的光栅耦合器的耦合效率和工作带宽等方面入手设计新型光栅耦合器,并将其完善至元器件库。本次项目总的需求是围绕硅基光栅耦合器展开研究,基于现有代工厂MPW工艺条件,需要解决光栅耦合器耦合损耗高和工作带宽窄等方面的问题问题,从而可以在标准工艺下提升光栅耦合器性能,得到多种性能的光栅耦合器。